ASML Holding N.V. (umumnya disingkat ASML, awalnya kependekan dari Advanced Semiconductor Materials Lithography) adalah perusahaan multinasionalBelanda di bidang semikonduktor yang mengembangkan dan memproduksi mesin fotolitografi untuk membuat sirkuit terpadu. Perusahaan ini merupakan pemasok terbesar bagi industri semikonduktor sekaligus produsen paling maju mesin litografi ultraviolet ekstrim (EUV) yang dibutuhkan untuk membuat chip tercanggih. Per Januari 2026, kapitalisasi pasarnya sekitar US$527 miliar, menjadikannya perusahaan teknologi terbesar di Eropa dan salah satu yang paling bernilai.[2][3]
ASML didirikan pada 1984 sebagai usaha patungan antara perusahaan teknologi Belanda Philips dan ASM International, lalu menjadi perusahaan independen penuh pada 1995. Kantor pusatnya berada di Veldhoven, dekat Eindhoven, Belanda, yang menjadi lokasi riset, pengembangan, produksi, dan perakitan. ASML mempekerjakan lebih dari 42.000 orang[1] dari 143 kewarganegaraan dan bergantung pada hampir 5.000 pemasok tingkat pertama.[4] Perusahaan ini memiliki pelanggan di seluruh dunia dan lebih dari 60 titik layanan di 16 negara.[4] Kantornya tersebar di Belanda, Amerika Serikat, Belgia, Prancis, Jerman, Irlandia, Israel, Italia, Britania Raya, Tiongkok, Hong Kong, Jepang, Korea Selatan, Malaysia, Singapura, dan Taiwan.[4]
Mesin fotolitografi yang diproduksi oleh ASML digunakan untuk memproduksi chip komputer. Pada mesin tersebut, pola dicitrakan secara optis ke wafer silikon yang dilapisi dengan film sensitif cahaya (fotoresis). Prosedur tersebut diulang berkali-kali pada satu wafer. Fotoresis tersebut kemudian diproses lebih lanjut untuk dijadikan sirkuit elektronik di silikon. Pencitraan optis yang diterapkan oleh mesin buatan ASML juga diterapkan di proses fabrikasi dari hampir semua sirkuit terintegrasi, dan hingga tahun 2010, ASML menguasai 67% penjualan mesin litografi di seluruh dunia,[7] mengalahkan Ultratech, Canon, dan Nikon.
Litografi Imersi
Hingga tahun 2011, sistem kelas atas buatan ASML, yakni TWINSCAN NXT:1950i, digunakan untuk memproduksi chip dengan ketebalan hanya 32 nanometer (dan ditargetkan kedepannya hanya setebal 22nm), dengan kapasitas produksi hingga 200 wafer per jam,[8] dengan menggunakan lensa imersi air dan laser fluorida argon yang memproduksi cahaya dengan panjang gelombang sebesar 193nm. Hingga tahun 2011, sebuah mesin litografi rata-rata dijual dengan harga 27 juta euro.[9]
Litografi EUV
ASML memproduksi mesin litografi ultraviolet ekstrem (Bahasa Inggris: extreme ultraviolet (EUV)) yang menghasilkan cahaya dengan panjang gelombang sebesar 13,3–13,7nm. Sebuah laser berenergi tinggi difokuskan pada tetesan timah cair mikroskopis untuk memproduksi plasma, yang mengeluarkan cahaya ultraviolet ekstrem.
Pada tahun 2009, pusat riset IMEC di Belgia berhasil memproduksi sel memoriSRAMCMOS 22nm fungsional pertama di dunia dengan menggunakan sebuah purwarupa mesin litografi ultraviolet ekstrem.[10] Mesin ultraviolet ekstrem (non-purwarupa) kemudian mulai dikirimkan ke para pembeli pada tahun 2011.[9]
ASML berkantor pusat di Veldhoven, Belanda. Kantor pusat tersebut juga merupakan lokasi riset, pengembangan, produksi, dan perakitan. ASML juga memiliki lebih dari 60 titik layanan yang tersebar di 16 negara di dunia. Perusahaan ini melantai di AEX dan NASDAQ. Perusahaan ini juga merupakan salah satu komponen dari Euro Stoxx 50 dan NASDAQ-100.[12]
Perusahaan ini memulai sejarahnya pada tahun 1984 dengan nama ASM Lithography[13] sebagai sebuah joint venture antara Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) dan Philips. Saat ini, Philips hanya memegang sedikit saham ASML.[14] Saat perusahaan ini menjadi independen pada tahun 1988, nama perusahaan ini diubah menjadi "ASML".[15]
Pada tahun 2000, ASML mengakuisisi Silicon Valley Group (SVG), sebuah produsen peralatan litografi asal Amerika Serikat, agar dapat memasok pemindai 193nm ke Intel Corp.[16][17]
ASML sangat rentan terhadap dinamika industri siklikal. Contohnya, pada akhir tahun 2008, penjualan ASML menurun drastis, sehingga manajemen memutuskan untuk mengurangi 1.000 tenaga kerjanya[18]—dan meminta dukungan dari tabungan pensiun nasional Belanda untuk mencegah pengurangan tenaga kerja lebih lanjut.[19] Dua setengah tahun kemudian, ASML menargetkan dapat mencetak rekor pendapatan.[20]
Pada bulan Juli 2012, Intel mengumumkan kesepakatan untuk berinvestasi sebesar $4,1 miliar di ASML dan mendapat 15% saham ASML, untuk mempercepat transisi dari wafer 300mm ke 450mm, dan mengembangkan litografi ultraviolet ekstrem lebih lanjut.[21][22] Kesepakatan tersebut tidak meliputi hak eksklusif atas produk ASML di masa depan, dan hingga bulan Juli 2012, ASML pun menawarkan 10% sahamnya ke perusahaan lain.[23] Sebagai bagian dari strategi ultraviolet ekstrem mereka, ASML mengumumkan akuisisi terhadap produsen sumber DUV dan EUV, Cymer pada bulan Oktober 2012.[24]
Pada bulan November 2013, ASML menghentikan pengembangan peralatan litografi 450mm, karena permintaan dari produsen chip belum menentu.[25]
Pada tahun 2015, ASML mengalami pencurian kekayaan intelektual. Sejumlah pegawainya ditemukan mencuri data rahasia dari anak usaha ASML di Silicon Valley yang mengembangkan perangkat lunak untuk optimasi mesin.[26]
Pada bulan Juni 2016, ASML mengumumkan rencananya untuk mengakuisisi Hermes Microvision Inc. asal Taiwan dengan harga sekitar $3,1 miliar, guna menambah teknologi untuk membuat semikonduktor yang lebih kecil dan lebih canggih.[27]
Pada bulan November 2020, ASML mengumumkan bahwa mereka telah mengakuisisi Berliner Glas Group asal Jerman untuk membantu memenuhi permintaan sistem ultraviolet ekstrem yang meningkat.[28]
↑"ASML 2013 Annual Report Form (20-F)"(XBRL). United States Securities and Exchange Commission. 11 February 2014. In November 2013, following our customers' decision, ASML decided to pause the development of 450mm lithography systems until customer demand and the timing related to such demand is clear.