Silikon (14Si) memiliki 23 isotop yang diketahui, dengan nomor massa berkisar antara 22 hingga 44. 28Si (isotop yang paling melimpah, pada 92,23%), 29Si (4,67%), dan 30Si (3,1%) adalah isotop stabil. Radioisotop yang berumur paling panjang adalah 32Si, yang dihasilkan oleh spalasi sinar kosmikargon. Waktu paruhnya telah ditentukan menjadi sekitar 150 tahun (dengan energi peluruhan 0,21 MeV), dan ia meluruh melalui emisi beta menjadi 32P (yang memiliki waktu paruh 14,28 hari)[2] dan kemudian menjadi 32S. Setelah 32Si, 31Si memiliki waktu paruh terpanjang kedua pada 157,3 menit. Semua radioisotop lain memiliki waktu paruh di bawah 7 detik.
↑()– Ketidakpastian (1σ) diberikan dalam bentuk ringkas dalam tanda kurung setelah digit terakhir yang sesuai.
↑#– Massa atom bertanda #: nilai dan ketidakpastian yang diperoleh bukan dari data eksperimen murni, tetapi setidaknya sebagian dari tren dari Permukaan Massa (trends from the Mass Surface, TMS).
12#– Nilai yang ditandai # tidak murni berasal dari data eksperimen, tetapi setidaknya sebagian dari tren nuklida tetangga (trends of neighboring nuclides, TNN).